উচ্চ স্বচ্ছতা সিঙ্গাপুর সেমিকন্ডাক্টর-মিয়ার জন্য ফিউজড সিলিকা পর্যবেক্ষণ উইন্ডো ডিস্ক কোয়ার্টজ গ্লাস শীট

প্রকল্পের সংক্ষিপ্ত বিবরণ

• ক্লায়েন্ট: সিঙ্গাপুর-ভিত্তিক সেমিকন্ডাক্টর ভ্যাকুয়াম সরঞ্জাম উপাদান প্রস্তুতকারক

• পণ্য: উচ্চ-বিশুদ্ধতা ফিউজড সিলিকা পর্যবেক্ষণ উইন্ডো ডিস্ক (বৃত্তাকার অপটিক্যাল ভিউপোর্ট উপাদান)

• সরবরাহকারী: লিয়ানয়ুংগাং শেংফ্যান কোয়ার্টজ প্রোডাক্টস কোং, লিমিটেড।

• উপাদান: উচ্চ-বিশুদ্ধতা ফিউজড সিলিকা (SiO₂ বিশুদ্ধতা ≥ 99.99%, কম হাইড্রোক্সিল উপাদান)

• প্রয়োগ: সেমিকন্ডাক্টর প্লাজমা এচিং এবং থিন-ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জামগুলিতে ভ্যাকুয়াম চেম্বারের জন্য পর্যবেক্ষণ উইন্ডো, রিয়েল-টাইম ভিজ্যুয়াল প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণ এবং অপটিক্যাল পরিদর্শনের জন্য ব্যবহৃত হয়

• মূল প্রক্রিয়া: নির্ভুল কোয়ার্টজ ডিস্ক কাটিং, ডাবল-সাইডেড অপটিক্যাল-গ্রেড ল্যাপিং এবং পলিশিং, এজ চ্যামফারিং, মাত্রিক পরিদর্শন।

ক্লায়েন্টের মূল সমস্যা

১. স্ট্যান্ডার্ড গ্লাস ভিউপোর্টগুলির অপর্যাপ্ত ট্রান্সমিট্যান্স প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণের নির্ভুলতাকে প্রভাবিত করে

ক্লায়েন্ট পূর্বে ভ্যাকুয়াম চেম্বারের জন্য পর্যবেক্ষণ উইন্ডো হিসাবে স্ট্যান্ডার্ড লো-আয়রন টেম্পারড গ্লাস ব্যবহার করত। ডিপ আল্ট্রাভায়োলেট থেকে নিয়ার-ইনফ্রারেড স্পেকট্রামে (বিশেষ করে 300nm এর নিচে) আলোর ট্রান্সমিট্যান্স তীব্রভাবে কমে গিয়েছিল। এটি প্রক্রিয়াকরণের সময় প্লাজমা অবস্থা এবং ওয়েফার পৃষ্ঠের অবস্থাগুলির নির্ভুল পর্যবেক্ষণকে বাধাগ্রস্ত করেছিল, প্রক্রিয়া প্যারামিটার সমন্বয়ের সময়োপযোগীতা এবং নির্ভুলতাকে আপোস করেছিল।

২. উচ্চ-তাপমাত্রার পরিষেবা ব্যর্থতার কারণ তাপীয় প্রসারণের অমিল

সেমিকন্ডাক্টর এচিং এবং ডিপোজিশন প্রক্রিয়াগুলিতে চেম্বারের তাপমাত্রার ঘন ঘন চক্রাকার পরিবর্তন জড়িত। স্ট্যান্ডার্ড গ্লাস উইন্ডোগুলির তাপীয় প্রসারণের সহগ তুলনামূলকভাবে বেশি, যা ধাতব ফ্ল্যাঞ্জের সাথে মেলে না। বারবার তাপীয় চক্রের অধীনে, স্ট্রেস ক্র্যাক তৈরি হয়েছিল, যার গড় পরিষেবা জীবন ৬ মাসের কম ছিল। ঘন ঘন প্রতিস্থাপনের ফলে খরচ বৃদ্ধি পায় এবং উৎপাদন লাইনে ডাউনটাইম হয়।

৩. অপটিক্যাল পরিদর্শন নির্ভুলতাকে প্রভাবিত করে পৃষ্ঠের অপর্যাপ্ত ফিনিশ

ক্লায়েন্ট চেম্বারের বাইরে অপটিক্যাল পরিদর্শন সরঞ্জাম (স্পেকট্রোমিটার, লেজার ইন্টারফেরোমিটার) স্থাপন করেছিল, যার জন্য অত্যন্ত কম পৃষ্ঠের রুক্ষতা এবং উচ্চ পৃষ্ঠের চিত্র নির্ভুলতা প্রয়োজন। পূর্ববর্তী সরবরাহকারীর পণ্যগুলি কেবল সাধারণ শিল্প-গ্রেডের পৃষ্ঠের গুণমান (S/D 80/50) পূরণ করত, উল্লেখযোগ্য বিক্ষিপ্ত ক্ষতির সাথে যা অপটিক্যাল সনাক্তকরণে সিগন্যাল-টু-নয়েজ অনুপাতকে হ্রাস করেছিল।

আমাদের লক্ষ্যযুক্ত সমাধান এবং সুবিধা

১. ওয়াইড-ব্যান্ড হাই ট্রান্সমিট্যান্স সহ উচ্চ-বিশুদ্ধতা ফিউজড সিলিকা উপাদান

আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতা ফিউজড সিলিকা উপাদান (SiO₂ ≥ 99.99%) নির্বাচন করেছি যা ডিপ আল্ট্রাভায়োলেট (185nm) থেকে নিয়ার-ইনফ্রারেড (2500nm) পর্যন্ত ওয়াইড-ব্যান্ড হাই ট্রান্সমিট্যান্স বৈশিষ্ট্যযুক্ত। স্ট্যান্ডার্ড গ্লাস উইন্ডোগুলির তুলনায়, DUV অঞ্চলে ট্রান্সমিট্যান্স উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত হয়েছে, প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণ এবং অপটিক্যাল পরিদর্শনের নির্ভুলতা এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে।

২. চমৎকার তাপীয় চক্রাকার স্থিতিশীলতা সহ কম তাপীয় প্রসারণ সহগ

ফিউজড সিলিকার তাপীয় প্রসারণ সহগ মাত্র 5.4×10⁻⁷/℃, যা স্ট্যান্ডার্ড গ্লাসের চেয়ে উল্লেখযোগ্যভাবে কম। সেমিকন্ডাক্টর ভ্যাকুয়াম চেম্বারগুলিতে বারবার তাপমাত্রা চক্রের সময়, মাত্রিক পরিবর্তনগুলি নগণ্য, ধাতব ফ্ল্যাঞ্জের সাথে চমৎকার তাপীয় মিল প্রদান করে এবং স্ট্রেস ক্র্যাকিংয়ের ঝুঁকি দূর করে। পরিষেবা জীবন স্ট্যান্ডার্ড গ্লাস উইন্ডোগুলির 3–5 গুণ পর্যন্ত প্রসারিত হয়।

৩. উচ্চ বিশুদ্ধতা, কম অপদ্রব্য উপাদান ভ্যাকুয়াম পরিবেশের পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করে

ধাতব অপদ্রব্য উপাদান ppb স্তরে নিয়ন্ত্রিত সহ কম-হাইড্রোক্সিল ফিউজড সিলিকা উপাদান নির্বাচন করুন। উচ্চ-তাপমাত্রার ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে কোনও আউটগ্যাসিং বা দূষণ ঘটে না, সেমিকন্ডাক্টর এচিং এবং ডিপোজিশন প্রক্রিয়াগুলির কঠোর চেম্বার পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তাগুলি সম্পূর্ণরূপে পূরণ করে।

সহযোগিতার ফলাফল এবং ক্লায়েন্টের প্রতিক্রিয়া

১. প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণের নির্ভুলতা উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত হয়েছে

উচ্চ-বিশুদ্ধতা ফিউজড সিলিকা উইন্ডো গ্রহণের পরে, ক্লায়েন্ট প্লাজমা এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন চেম্বারের অভ্যন্তরে প্লাজমা বিতরণ এবং ওয়েফার পৃষ্ঠের অবস্থাগুলি স্পষ্টভাবে পর্যবেক্ষণ করতে পারে। প্রক্রিয়া প্যারামিটার সমন্বয়ের সময়োপযোগীতা প্রায় ২৫% উন্নত হয়েছে, এবং ওয়েফার ফলন প্রায় ৩% বৃদ্ধি পেয়েছে।

২. উইন্ডোর পরিষেবা জীবন উল্লেখযোগ্যভাবে প্রসারিত হয়েছে

ফিউজড সিলিকা উইন্ডোগুলি ১৮ মাসেরও বেশি সময় ধরে সেমিকন্ডাক্টর ভ্যাকুয়াম চেম্বারগুলিতে স্ট্রেস ক্র্যাক বা ট্রান্সমিট্যান্স অবক্ষয় ছাড়াই অবিচ্ছিন্নভাবে কাজ করছে—স্ট্যান্ডার্ড গ্লাস উইন্ডোগুলির চেয়ে ৩ গুণের বেশি পরিষেবা জীবন। রক্ষণাবেক্ষণ খরচ এবং উৎপাদন লাইনের ডাউনটাইম উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস পেয়েছে।

৩. অপটিক্যাল পরিদর্শন সংকেতের গুণমান অপ্টিমাইজ করা হয়েছে

অপটিক্যাল-গ্রেড পৃষ্ঠ ফিনিশ (Ra < 1nm, S/D 40/20) উল্লেখযোগ্যভাবে আলোর বিক্ষিপ্ততা হ্রাস করে। স্পেকট্রোমিটার এবং লেজার ইন্টারফেরোমিটারের জন্য সিগন্যাল-টু-নয়েজ অনুপাত প্রায় ৪০% উন্নত হয়েছে, যা প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণের জন্য আরও সুনির্দিষ্ট রিয়েল-টাইম ডেটা সমর্থন প্রদান করে।

৪. স্থিতিশীল পুনরাবৃত্তিমূলক বাল্ক অর্ডার

২০০ পিসের পরীক্ষামূলক অর্ডারের সাফল্যের পর, ক্লায়েন্ট একটি বার্ষিক ফ্রেমওয়ার্ক চুক্তিতে স্বাক্ষর করেছে যেখানে গড় মাসিক অর্ডার ২০০-৩০০ পিস। ফিউজড সিলিকা পর্যবেক্ষণ উইন্ডোগুলি ক্লায়েন্টের স্ট্যান্ডার্ড উপাদান সংগ্রহ ক্যাটালগে অন্তর্ভুক্ত করা হয়েছে।