কেস স্টাডি: ফিউজড সিলিকা ফার্নেস টিউব-অ্যামি
প্রকাশিত: June 24, 2026
1. ক্লায়েন্ট ব্যাকগ্রাউন্ড
৮ ইঞ্চি পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টর প্রস্তুতকারকেরা অক্সিডেশন এবং ডোপিংয়ের জন্য ১০৫০°১১৮০° সেলসিয়াসে উল্লম্ব ডিফিউশন ফার্নেস ব্যবহার করে।ইনফ্রারেড ট্রান্সমিট্যান্স এবং ডিভাইট্রিফিকেশন প্রতিরোধের.
2. সাধারণ সিলিকা টিউবগুলির সাথে মূল সমস্যা
সাবেক জেজিএস১ ফ্লেম-পোলিশ টিউবগুলি একাধিক উত্পাদন ত্রুটি সৃষ্টি করেছিলঃ
- উচ্চ ওএইচ সামগ্রী দুর্বল ইনফ্রারেড অনুপ্রবেশ এবং অসম তাপমাত্রা ক্ষেত্রের দিকে পরিচালিত করে, ওয়েফারের ফলন হ্রাস করে।
- উচ্চ ধাতব অমেধ্য দ্রুত ডিভাইট্রিফিকেশন এবং ঘন ঘন ফাটল সৃষ্টি করে; টিউবগুলি প্রতি 45 দিনে প্রতিস্থাপন করা প্রয়োজন।
- ম্যাট অগ্নি-পোলিশ বাদামগুলি দুর্বল ভ্যাকুয়াম সিলিং এবং অস্থির প্রক্রিয়া গ্যাসের ঘনত্বের ফলাফল দেয়।
3. অপ্টিমাইজড সমাধানঃ FS03 সিলিকা টিউব
- উপাদানঃ FS03 ভ্যাকুয়াম ফিউজড সিলিকা, SiO2 ≥99.995%, OH− <10 পিপিএম, অতি কম অমেধ্য।
- পৃষ্ঠঃ পাইপ, ফ্ল্যাঞ্জ এবং কোয়ার্টজ বাদামের জন্য সম্পূর্ণরূপে স্বচ্ছ আয়না পলিশিং (অগ্নি পলিশিং নেই) ।
- কাঠামোঃ উচ্চ তাপীয় শক প্রতিরোধের জন্য ঘন দেয়াল, চাপ-মুক্তি welding।
4পরীক্ষার ফলাফল ও উৎপাদন
- চুলার ভিতরে তাপমাত্রার পার্থক্য ±12°C থেকে ±3°C পর্যন্ত হ্রাস করা হয়।
- ওয়েফারের ফলন ৬.৮% বেড়েছে; পরিষেবা জীবন ৪৫ দিন থেকে ১৮০ দিন পর্যন্ত বাড়ানো হয়েছে।
- ভ্যাকুয়াম ফুটো ব্যর্থতা 95% হ্রাস পেয়েছে; টিউব প্রতিস্থাপনের জন্য কম উত্পাদন বন্ধ।
5উপসংহার
FS03 স্বচ্ছ পোলিশ চুলা টিউবগুলি তাপমাত্রা অভিন্নতা এবং দূষণের ঝুঁকিগুলি সমাধান করে, রক্ষণাবেক্ষণ ব্যয় হ্রাস করে এবং অর্ধপরিবাহী তাপ প্রক্রিয়াগুলির জন্য স্থিতিশীল ভর উত্পাদনকে বাড়ায়।
